2024年11月30日,上海市集成電路關鍵工藝材料重點實驗室(以下簡稱“重點實驗室”)“2024年度學術委員會會議”在公司2號樓2307會議室召開。重點實驗室的各位專家委員、重點實驗室主任王溯博士、公司董事長王福祥及重點實驗室學科帶頭人出席了本次會議。
會議由學術委員會主任、復旦大學微電子學院張衛(wèi)院長主持。重點實驗室主任王溯博士匯報了實驗室自成立五年以來取得的階段性成果,重點實驗室學科帶頭人分別做了實驗室在電鍍、清洗、刻蝕、光刻和研磨等集成電路關鍵工藝材料領域研究進展的學術報告。重點實驗室各位專家委員就實驗室建設、學術交流活動開展、產(chǎn)業(yè)前沿技術開發(fā)及實驗室影響力提升等方面展開討論并提出了建設性的建議。會議在熱烈的掌聲中圓滿結(jié)束。
上海市集成電路關鍵工藝材料重點實驗
2024年11月30日